Equipment
サムコRIE BCl3 半導体エッチング
アルファステップ 段差計
マスクアライナー ミカサ 水銀ランプ
ミリング装置 伯東 7×10-5Pa
Jeol SEM
ランプ加熱アニール炉
Picosun Sy ALD アルミナ、ハフニア ロードロック付き
エイコーエンジニアリング スパッタ、MEBシステム スパッタ6元+コスパッタ 自動成膜システム MBE 8ポート 7Kセル+EBガン RHEED付き
ULVAC EBガン+抵抗加熱 5×10-4Pa
PPMS カンタムデザイン 面直磁場9T 共用 VSMローテータオプション付き
極MOKE測定装置 最大印加磁場2T NEOアーク
面内Kerr効果測定装置 0.2T
オックスフォードインストゥルメンツ超伝導マグネット面直6T面内2T2軸 測定温度200K~1.4K
東栄科学産業 面内・面直磁場印加プローバー 面内600mT 面直50mT
オックスフォードインストゥルメンツ 超伝導マグネット面直9T面内1T2軸 測定温度200K~1.5K
オックスフォードインストゥルメンツ He3希釈冷凍機 面直15T 測定温度80K~0.3K
ナガセテクノエンジニアリング 300K~10K 1軸磁場800mT GM冷凍機
ALD Picosun Sy アルミナ成膜用 SM4000
オックスフォードインストゥルメンツ スペクトロマグ 光学測定用 面内7T
Tiサファイアレーザー+OPOシステム