東北大学

東北大学新田研究室

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Equipment

  • サムコRIE BCl3 半導体エッチング

  • アルファステップ 段差計

  • マスクアライナー ミカサ 水銀ランプ

  • ミリング装置 伯東 7×10-5Pa

  • Jeol SEM

  • ランプ加熱アニール炉

  • Picosun Sy ALD アルミナ、ハフニア ロードロック付き

  • エイコーエンジニアリング スパッタ、MEBシステム スパッタ6元+コスパッタ 自動成膜システム MBE 8ポート 7Kセル+EBガン RHEED付き

  • ULVAC EBガン+抵抗加熱 5×10-4Pa

  • PPMS カンタムデザイン 面直磁場9T 共用 VSMローテータオプション付き

  • 極MOKE測定装置 最大印加磁場2T NEOアーク

  • 面内Kerr効果測定装置 0.2T

  • オックスフォードインストゥルメンツ超伝導マグネット面直6T面内2T2軸 測定温度200K~1.4K

  • 東栄科学産業 面内・面直磁場印加プローバー 面内600mT 面直50mT

  • オックスフォードインストゥルメンツ 超伝導マグネット面直9T面内1T2軸 測定温度200K~1.5K

  • オックスフォードインストゥルメンツ He3希釈冷凍機 面直15T 測定温度80K~0.3K

  • ナガセテクノエンジニアリング 300K~10K 1軸磁場800mT GM冷凍機

  • ALD Picosun Sy アルミナ成膜用 SM4000

  • オックスフォードインストゥルメンツ スペクトロマグ 光学測定用 面内7T

  • Tiサファイアレーザー+OPOシステム

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