サムコRIE BCｌ３ 半導体エッチング

アルファステップ 段差計

マスクアライナー ミカサ 水銀ランプ

ミリング装置 伯東 7×10-5Pa

Jeol SEM

ランプ加熱アニール炉

Picosun Sy ALD アルミナ、ハフニア ロードロック付き

エイコーエンジニアリング スパッタ、MEBシステム スパッタ6元＋コスパッタ　自動成膜システム MBE　8ポート　７Kセル＋EBガン RHEED付き

ULVAC EBガン＋抵抗加熱 ５×10-4Pa

PPMS　カンタムデザイン 面直磁場９T 共用 VSMローテータオプション付き

極MOKE測定装置 最大印加磁場２T NEOアーク

面内Kerr効果測定装置 0.2T

オックスフォードインストゥルメンツ超伝導マグネット面直６T面内２T2軸 測定温度200K～1.4K

東栄科学産業 面内・面直磁場印加プローバー 面内600mT 面直50mT

オックスフォードインストゥルメンツ 超伝導マグネット面直９T面内１T2軸 測定温度200K～1.5K

オックスフォードインストゥルメンツ He3希釈冷凍機 面直15T 測定温度80K～0.3K

ナガセテクノエンジニアリング 300K～10K 1軸磁場800mT GM冷凍機

ALD Picosun Sy アルミナ成膜用 SM4000

オックスフォードインストゥルメンツ スペクトロマグ 光学測定用 面内７T

Tiサファイアレーザー＋OPOシステム